تأثير درجات حرارة التلدين على الخصائص التركيبية لأغشية ZnO الرقيقة

الملخص

تمت زراعة أغشية رقيقة من أكسيد الزنك (ZnO) على ركائز زجاجية عند 300 باستخدام طريقة رش المغنطرون بالتيار المستمر. تم دراسة تأثير التلدين تحت درجات حرارة مختلفة (350.400) درجة مئوية لمدة ساعتين على الخصائص التركيبية للأغشية الرقيقة ZnO بواسطة مقياس حيود الأشعة السينية. أظهر تحليل حيود الأشعة السينية أن جميع الأفلام لها بنية بلورية سداسية البلورات من نوع wurtzite مع محور c بشكل تفضيلي موجه إلى سطح الركيزة. لم يتغير التركيب البلوري للأغشية الملدنة بشكل كبير ، لكن موضع الذروة (002) وحجم حبيبات السطح زاد بشكل طفيف. تم فحص وتحليل مستويات التبلور في الأغشية والمعلمات الهيكلية الأخرى.